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更新时间：2026-06-23
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ATLEX-FBG 系列专为FBG 刻写设计，具备较好的空间相干性指标。
光纤光栅刻写专用准fen子激光器ATLEX-FBG 采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求：
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 ：3L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷，主动热管理
• RS485，RS232，USB 以及光纤接口
• 易于清洁维护的紫外镜片与光具座
• 能量稳定模式
光纤光栅刻写专用准fen子激光器ATLEX-FBG 主要应用：
FBG布拉格光纤光栅制备
激光微加工
ATLEX-FBG 系列准fen子激光器
ATLEX-FBG 系列专为FBG 刻写设计，具备较好的空间相干性指标。ATLEX-FBG 共300、500 两个型号。
ATLEX-FBG性能指标：
准分子气体 | ArF | KrF | 单位 |
|---|---|---|---|
波长 | 193 | 248 | nm |
高压开关技术 | 固态开关 | ||
最大脉冲能量 | 8 | 15 | mJ |
稳态脉冲能量 | 4 | 8 | mJ |
稳态平均功率 - ATLEX-300-FBG | 1.2 | 2.4 | W |
稳态平均功率 - ATLEX-500-FBG | 2 | 4 | W |
最高重复频率 - ATLEX-300-FBG | 300 | Hz | |
最高重复频率 - ATLEX-500-FBG | 500 | Hz | |
脉冲宽度 | 5 - 8 | ns | |
光斑尺寸 (V x H) | 4 x 6 | mm | |
激光发散角 (V x H) | 1 x 2 | mrad | |
能量稳定性 (Stand. Dev.) | < 2 | % | |
激光器尺寸 (L x W x H) | 540 x 470 x 370 | mm | |
激光器重量寸 | 60 | kg | |
冷却形式 | 风冷/水冷 | ||
电源需求 | 230 VAC / 10 A / 50-60 Hz / 单向电 | ||
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