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更新时间:2026-06-23
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ATLEX-LR 紧凑型风冷准fen子激光器适合低负荷使用,专门为激光剥蚀(Laser Ablation) 设计。激光为193nm 输出优化,同时具有非常快的上升沿和高峰值功率。
ATLEX-LR 紧凑型风冷准fen子激光器采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求:
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 :3L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷,主动热管理
• RS485,RS232,USB 以及光纤接口
• 易于清洁维护的紫外镜片与光具座
• 能量稳定模式
主要应用:
LA-ICP-MS
激光剥蚀
ATLEX-LR性能指标:
增益介质 | ArF |
|---|---|
波长(nm) | 193 |
高压开关技术 | 固态开关 |
最高脉冲能量(mJ) | 12 |
能量稳定选项输出(mJ) | 4 |
脉冲宽度(ns) | 5 |
光束尺寸(mm) | 4×6 |
光束发散角(mrad) | 1×2 |
能量稳定性(rms) | 2% |
外形尺寸(mm,L×W×H) | 540×470×370 |