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更新时间:2026-07-07
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先锋泰坦代理的德国ATL公司248nm KrF准分子激光器ATLEX-500-L-248nm(8mJ@248nm,500Hz) 国内现货,无需海外排单排产,标准订单整体货期仅2周,快速交付!助力高校科研,微加工、薄膜剥蚀、光刻实验等项目高效落地。
另:ATLEX-1000-L-193nm(4mJ@193nm,1000Hz)准分子激光器同步有售。
ATLEX-L准分子激光器性能指标:
准分子气体 | ArF | KrF | 单位 |
波长 | 193 | 248 | nm |
高压开关技术 | 固态开关 | ||
最大脉冲能量 | 8 | 15 | mJ |
稳态脉冲能量 | 4 | 8 | mJ |
稳态平均功率 - ATLEX-500-L | 2 | 4 | W |
稳态平均功率 - ATLEX-1000-L | 4 | 8 | W |
最高重复频率 - ATLEX-500-L | 500 | Hz | |
最高重复频率 - ATLEX-1000-L | 1000 | Hz | |
脉冲宽度 | 5 - 8 | ns | |
光斑尺寸 (V x H) | 6 x 4 | mm | |
激光发散角 (V x H) | 2 x 1 | mrad | |
能量稳定性 (Stand. Dev.) | < 3 | % | |
激光器尺寸 (L x W x H) | 600 x 415 x 572 | mm | |
激光器重量寸 | 80 | kg | |
冷却形式 | 风冷/水冷 | ||
电源需求 | 230 VAC / 10 A / 50-60 Hz / 单向电 | ||
先锋泰坦作为德国ATL公司中国授权代理商,依托国内仓储布局,实现 ATLEX 系列激光器本地化现货供应,省去海外漫长排单周期,提供原厂技术标准落地、整机交付、安装调试、售后维保全链条本土化技术服务,助力国内高校与科研单位高效开展光刻、微加工、激光剥蚀等前沿课题研究。
先锋泰坦深耕光电前沿领域多年,先后与数百家国际光电企业建立长期稳定的战略合作关系。公司搭建起完备的全品类光电产品体系,业务覆盖各类激光器、激光测量设备、科学成像探测仪器、光谱仪、光度与色度测试仪、光电传感器等多个核心领域。依托丰富多元的产品布局与专业可靠的本地化服务,持续为国内光电科研及产业发展赋能。如需产品相关咨询,欢迎随时联系在线客服。