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更新时间：2026-06-23
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ATL公司以小型化、风冷、高重复频率准fen子激光器著称。
ATLEX-L 工业高重频准fen子激光器采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求：
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 ：6L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷，主动热管理
• RS485，RS232，USB 以及光纤接口
• 易于清洁维护的紫外镜片与光具座
• 能量稳定模式
主要应用：
激光微加工
激光剥蚀
眼科手术
光谱激发
量测与计量
ATLEX-L 工业高重频准fen子激光器性能指标：
准分子气体 | F₂ | ArF | KrF | 单位 |
|---|---|---|---|---|
波长 | 157 | 193 | 248 | nm |
高压开关技术 | 固态开关 | |||
最大脉冲能量 | 1 | 8 | 15 | mJ |
稳态脉冲能量 | 0.5 | 4 | 8 | mJ |
稳态平均功率 - ATLEX-500-L | 0.25 | 2 | 4 | W |
稳态平均功率 - ATLEX-1000-L | 0.5 | 4 | 8 | W |
最高重复频率 - ATLEX-500-L | 500 | Hz | ||
最高重复频率 - ATLEX-1000-L | 1000 | Hz | ||
脉冲宽度 | 5 - 8 | ns | ||
光斑尺寸 (V x H) | 6 x 4 | mm | ||
激光发散角 (V x H) | 2 x 1 | mrad | ||
能量稳定性 (Stand. Dev.) | < 3 | % | ||
激光器尺寸 (L x W x H) | 600 x 415 x 572 | mm | ||
激光器重量寸 | 80 | kg | ||
冷却形式 | 风冷/水冷 | |||
电源需求 | 230 VAC / 10 A / 50-60 Hz / 单向电 | |||
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