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更新时间:2026-06-23
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ATL公司以小型化、风冷、高重复频率准fen子激光器著称。
ATLEX-I 准fen子激光器采用一系列独到的设计以满足工业级应用需求:
• 软电晕预电离
• 全固态高压脉冲发生器
• 激光头容积 < 3L
• 全金属- 陶瓷管路
• 集成真空泵及卤素过滤器
• 全风冷,主动热管理
• RS485,RS232,USB 以及光纤接口
• 易于清洁维护的紫外镜片与光具座
• 能量稳定模式
ATLEX-I 准fen子激光器主要应用:
激光微加工
激光剥蚀
眼科手术
光谱激发
量测与计量
ATLEX-I 系列性能指标:
准分子气体 | F₂ | ArF | KrF | XeCl | XeF | 单位 |
|---|---|---|---|---|---|---|
波长 | 157 | 193 | 248 | 308 | 351 | nm |
高压开关技术 | 固态开关 | |||||
最大脉冲能量 | 1 | 8 | 15 | 8 | 7 | mJ |
稳态脉冲能量 | 0.5 | 4 | 8 | 4 | 3.5 | mJ |
稳态平均功率 - ATLEX-300-I | 0.15 | 1.2 | 2.4 | 1.2 | 1 | W |
稳态平均功率 - ATLEX-500-I | 0.25 | 2 | 4 | 2 | 1.7 | W |
最高重复频率 - ATLEX-300-I | 300 | Hz | ||||
最高重复频率 - ATLEX-500-I | 500 | Hz | ||||
脉冲宽度 | 5 - 8 | ns | ||||
光斑尺寸 (V x H) | 4 x 6 | mm | ||||
激光发散角 (V x H) | 1 x 2 | mrad | ||||
能量稳定性 (Stand. Dev.) | < 2 | % | ||||
激光器尺寸 (L x W x H) | 540 x 470 x 370 | mm | ||||
激光器重量寸 | 60 | kg | ||||
冷却形式 | 风冷/水冷 | |||||
电源需求 | 230 VAC / 10 A / 50-60 Hz / 单向电 | |||||