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XITON Impress系列深紫外激光器是高重频二管泵浦调Q固体激光器。其优异的TEM00光束模式非常适合用于计量学和微细加工(如半导体或显示器修复等),其短的波长适合于直接刻写应用。系统通过RS-232接口*由电脑控制运行,可接受不同的触发控制模式。
单频紫外激光器 IXION-193 SLM是单频二管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换限。中心波长以0.01nm的度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪,度可达1pm以保证对激光器调谐的Z大控制。