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激光与量测
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动态干涉仪有别于基于传统 Fizeau 干涉仪的方法,采用位相检测方法直接构建的动态干涉 仪既不需要移动待测元件多次曝光,也不需要采用偏振等复杂的光学手段,针 对待测元件进行一次测量即可获得其反射面型或透过波差。
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