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更新时间：2026-06-23
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proLINE极紫外EUV光源
· 宽波长，高光通量
· 宽带输出或单色波长输出
· 高可靠性、长期稳定运行的 EUV 光源
· 紧凑型结构设计
德国 hp spectroscopy proLINE 是一款基于等离子体的 EUV 光源，可在 1–20 nm 的多种波长范围内提供较高光通量输出。作为一款一站式系统，proLINE 使科研人员能够更加专注于实验研究本身。该光源还可搭配我们产品组合中的单色仪或诊断光谱仪使用。
proLINE 具有较高的灵活性，可提供两个或更多输出端口，支持同时连接至多条光束线进行实验。此外，通过气体选择和单色仪设置，可实现快速且自动化的波长切换。
我们还可提供定制化版本，包括集成单色仪、聚焦单元以及实验靶站配置等。proLINE 还可与 X 射线吸收光谱系统 proXAS 配套使用，构建多功能测试平台。
proLINE极紫外EUV光源特点
基于等离子体的 EUV 光源
· 高光子通量
· 宽带输出或单色化输出
· 丰富的波长选择范围
· 无电极结构设计，碎屑污染低
· 300 μm 光源尺寸，实现高亮度
使用方便
· 紧凑型结构设计
· 低使用成本（气体流量消耗低）
· 高可靠性、长期稳定的EUV 光源
· 可选配集成诊断系统
应用
· EUV 计量检测
· 掩模缺陷检测
· 光刻胶（Resist）研发
· EUV 显微成像
· 水窗波段显微成像
proLINE的典型等离子体发射光谱。可通过气体选择和单色仪设置，实现快速且自动化的波长切换。
采用高可靠性激光等离子体（Laser-Produced Plasma,LPP）技术的XUV光源。
能量范围：1 –20nm/60 – 1200eV
重复频率：20 Hz
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