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位置灵敏探测器PSD （Position Sensitive Device） 属于半导体器件, 一般做成PN结构,具有高灵敏度、高分辨率、响应速度快和配置电路简单等优点。
软X射线探测器的软X射线可直接照射探测器，无需闪烁晶体做转换，$n按可检测X射线能量范围不同及应用的需要，分为AXUV,UVG和SXUV三大产品系列，Z低可检测0.04nm的软X射线，拥有快速响应的探测器，响应速度达到ps量级，多元阵列，积分放大电路，并可根据需要集成带通滤光片，四象限位置传感器（Quadrant PSD）
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