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2018-413
2018-413
在半导体制造过程中,前期的全自动晶圆缺陷检测技术非常重要。因为在后端的生产流程中,通常会有多片晶圆粘合到一起,或者把晶圆粘合到不透明的材料上。因为半导体材料对可见光都是不透明的,所以很难用可见图像技术对粘合效果做表征或者检测粘合表面的污染。比如MEMS的分选就是典型的应用。MEMS是把微型机械部件、微型传感器、微电路集成到一个芯片上;为确保MEMS的运作,对其进行缺陷检测是至关重要的,但很多机械性能无法通过电气或功能测试来确定。因为这些缺陷往往位于基板上或器件与封盖晶圆之间连...
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2018-413
半导体器件和电路制造技术飞速发展,器件特征尺寸不断下降,而集成度不断上升。这两方面的变化都给失效缺陷定位和失效机理的分析带来巨大的挑战。对于半导体失效分析(FA)而言,微光显微镜(EmissionMicroscope,EMMI)是一种相当有用且效率高的分析工具。微光显微镜其高灵敏度的侦测能力,可侦测到半导体组件中电子-电洞对再结合时所发射出来的光线,能侦测到的波长约在350nm~1100nm左右。它可以广泛的应用于侦测IC中各种组件缺陷所产生的漏电流,如:Gateoxided...
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2018-413
以飞秒激光技术为核心的超快光学及强场物理科学,在近20年来发展迅速。飞秒激光本身,随着钛宝石自锁模振荡器、CPA技术、光纤飞秒等重大技术的创新和发展,在超快(周期量级飞秒脉冲)、*(峰值功率拍瓦)、稳定性和实用性等方向上取得了长足的发展。其应用已经深入到物理、化学、材料、生物医学、工业加工的广阔领域,主要应用如:1)端超快物理研究:阿秒脉冲产生与阿秒动力学;2)端*物理研究:强相对论电子,量子电动力学,实验室天体物理;3)强场物质相互作用研究:高次谐波,粒子加速,激光驱动核聚...
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2018-330
选择丰富的时频系列仪器,先锋科技为您的“时间”提供zui稳定的保障人们平时所用的钟表,精度高的大约每年会有1分钟的误差,这对日常生活是没有影响的,但在要求很高的生产、科研中就需要更准确的计时工具。目前世界上zui准确的计时工具就是原子钟,它是20世纪50年代出现的。原子钟是利用原子吸收或释放能量时发出的电磁波来计时的,原子钟的精度可以达到每100万年才误差1秒。这为天文、航海、宇宙航行提供了强有力的保障。美国斯坦福研究系统公司(以下简称“SRS”)提供各类的时频系列仪器,应用...
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