准分子激光器采用一体化金属陶瓷腔技术，保证长的气体寿命及激光腔寿命，腔内气体净化装置及软预电离技术保证高质量的激光光斑输出及稳定的激光能量输出，重载光学支架及的keyed-optic design 保证了激光光点的稳定性光学元件的稳固性。