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微米尺度空间分辨率LIBS测试系统—MEEPLIBS

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MEEPLIBS可以在微米尺度上做空间分辨的元素分析,实现了与传统的显微镜实现*结合,标准分析口径大小为15微米和18微米(Z小可做到4微米),可在室温大气环境中测试,也可在特定的环境中测试。
广泛应用于半导体材料、面板材料的微米尺度空间分辨率的实时元素分析。http://www.teo.com.cn/templates/jinxianfeng_001/second_134.html

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微米尺度空间分辨率LIBS测试系统—MEEPLIBS
MEEPLIBS可以在微米尺度上做空间分辨的元素分析,实现了与传统的显微镜实现*结合,标准分析口径大小为15微米和18微米(zui小可做到4微米),可在室温大气环境中测试,也可在特定的环境中测试。
广泛应用于半导体材料、面板材料的微米尺度空间分辨率的实时元素分析。
  系统特点:
光源:266nm紫外激光光源
具有配衰减器的激光光束整形功能,激光功率软件可调
可实现探测系统的自动温控
系统中配置摄像机,用户可实时观测测试的样品区域
配置电动三维调节台用来校准激光聚焦位置、提高实验可重复性精度,可对样品进行序列测量
能分析测量包括质量zui轻的所有元素
无须样品预处理,快速检测
 


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