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半导体膜厚测试仪

简要描述:半导体膜厚测试仪-OPTM
测量目标膜的绝对反射率,实现高精度膜厚和光学常数测试! (分光干渉法)

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2022-02-14
  • 访  问  量:159
详细介绍
品牌大塚电子价格区间100万-200万
测量模式直流产地类别进口
应用领域化工,电子,综合

半导体膜厚测试仪-OPTM 

R&D QC 植入设备! 都可简单实现高精度测量!

测量目标膜的绝对反射率,实现高精度膜厚和光学常数测试! (分光干渉法)


半导体膜厚测试仪 长 Features

·膜厚测量中必要的功能集中于头部

·通过显微分光高精度测量绝对反射率(多层膜厚、光学常数)

·1点只需不到1秒的高速tact

·实现了显微下广测量波长范围的光学系(紫外~近红外)

·通过区域传感器控制的安全构造

·搭载可私人定制测量顺序的强大功能

·即便是没有经验的人也可轻松解析光学常数

·各种私人定制对应(固定平台,有嵌入式测试头式样)

QQ截图20220211154554.jpg


测量项目 Measurement item

·绝对反射率测量

·膜厚解析

·光学常数解析(n:折射率、k:消光系数)

QQ截图20220211154507.jpg


构成

构成图.jpg


样Specifications

 

QQ截图20220211154641.jpg

※ 上述式样是带有自动XY平台。

※ release 时期 是OP-A1在2016年6月末、OP-A2、OP-A3预定2016年9月。

膜厚范围是SiO2换算。

 


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