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劳厄单晶取向测试系统

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劳厄单晶取向测试系统,实时确定晶体方向,精度高达0.1度;
PSEL 软件定向误差低至 0.05度;

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劳厄单晶取向测试系统

  • 背散射劳厄测试系统,实时确定晶体方向,精度高达0.1度;
  • PSEL 软件定向误差低至 0.05度;
  • 多晶硅片二维定向mapping;
  • 大批量样品筛选;
  • 超20kg重负荷样品定位

  水平放置系统

 

特征

优点

<200um 光束尺寸

可测量小 晶体

电动位移台

可沿生长轴轴向扫描

电动角位移

与同步加速器/中子设备直接兼容

手动角位移

与切割刀具直接兼容

 

垂直放置系统

    

特征

优点

<200um 光斑

适用于小晶粒的多晶结构

大范围电动线性扫描位移台

允许自动晶圆mapping或多个样品

电动Z 轴驱动

适用大尺寸晶棒或样品

手动角位移

允许定位到+/- 0.02度精度

 

配备PSEL CCD 背反射劳厄X-RAY 探测器

  • 有效输入探测面约: 155*105 mm
  • 最小输入有效像素尺寸83um,1867*1265 像素阵列
  • 可选曝光时间从1ms 到35分钟
  • 芯片上像素叠加允许以牺牲分辨率为代价增强灵敏度
  • 自动背景扣除模式
  • 16位高精度采集模式
  • 12位快速预览模式
  • PSEL 劳厄影像采集处理专业软件 

劳厄影像校准软件:

  • 自动检测衍射斑点,并根据参考晶体计算斑点位置;
  • 根据测角仪和晶体轴自动计算定向误差(不需要手动拟合扭曲的图形)
  • 以CSV格式保存角度测量值,以进一步保证质量的可追溯性;
  • 顶部到底部的终端用户菜单,允许资深结晶学用户自行逐步确认定位程序;
  • 基于Python的软件,允许使用套接字命令对现有软件/系统进行远程访问控制;

 

系统附件包括

  • 劳厄X-RAY 探测器
  • 劳厄校准软件
  • 高亮度X-RAY 发生器
  • 电动/手动 角位移台& 高精度位移台;
  • 样本定位/视频监控 摄像头;
  • 激光距离传感器/操纵杆

典型劳厄衍射应用图样:

 

劳厄单晶取向测试系统应用方向:

  • 探测器材料: HgCdTe/CdTe, InGaAs,  InSb;
  • 窗口玻璃材料&压电/铁电陶瓷: Al2O3, Quantz,LiNbO3
  • 金属合金: 钨,钼,镍基合金;
  • 激光晶体材料: YAG, KTP, GaAs
  • 薄膜/半导体基地材料: AIN, InP SiC;
  • 磁性&超导材料: BCO/BSCCO/HBCCO, FeSe, NbSn/NbTi
  • 闪烁体材料: BGO/LYSO, CdWO4, BaF2/CaF2; 

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