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UGA系列大气分析设备

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UGA系列大气分析设备:技术的质谱分析仪,压强测试范围从大气到超高真空压强,是在线监测和混合气体分析的理想设备。无论检测受限制的污染物,溶剂,氢化物,制冷剂或者是腐蚀性气体,UGA都能胜任。UGA的应用包括半导体尾气检测,杂物箱分析,燃料电池的研究,氟利昂检测,污染检测,发酵研究和简单真空分析

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UGA系列大气分析设备

技术的质谱分析仪,压强测试范围从大气到超高真空压强,是在线监测和混合气体分析的理想设备。无论检测受限制的污染物,溶剂,氢化物,制冷剂或者是腐蚀性气体,UGA都能胜任。UGA的应用包括半导体尾气检测,杂物箱分析,燃料电池的研究,氟利昂检测,污染检测,发酵研究和简单真空分析。

UGA系统自带windows软件,实时采集数据和图形化显示,操作方便快捷。软件功能中包含模拟的柱状扫描模式、压力和时间关系图、检漏测试、气体分析和在线分析。标准的GPIBRS232接口方便与计算机连接控制。

UGA系列大气分析设备

 

UGA系列气体分析仪包含三种质谱范围:分辨是100amu200amu300amu

UGA系列大气分析设备详细参数如下:
入口类型      1 to 760Torr                       不锈钢和毛细管
                10−1 to 10−4 Torr               1/8" to 1/4" 管型通道
                 <10−4  Torr                        2.75"CF法兰
流量                  1 to 10 毫升/分钟 (标准大气压下)
质谱仪器
类型                                             四(RGA 
探测器                                         法拉第杯和电子倍增管
质谱范围                                     100, 200 or 300 amu
分辨率                                         Better than 0.5 amu(at 10 % of peak height)
探测限                                     Less than 1 ppm
工作压力                                     5 × 10−6Torr

系统
高真空泵 涡轮分子泵
隔膜泵                                         超低压隔膜泵


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