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气体分析仪

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残余气体分析仪(RGA)划分为100、200、300amu三种型号,其优异的性能使其成为真空分析仪中L先产品。每一个RGA系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成,实时分析windows软件包可以更方便用于数据采集和分析,并可进行远程控制。

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RGA系列残余气体分析仪

可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。

100200,和300amu
◇优于1amu的分辨率
6个量级的动态范围  
◇可检测5 x 10-14Torr

◇实时RGA  WindowsLabVIEW软件 
◇质谱,泄漏检测和压力对时间方式 
◇现场可更换的电子倍增器和灯丝 
RS232计算机接口

残余气体分析仪(RGA)划分为100200300amu三种型号,其优异的性能使其成为真空分析仪中产品。每一个RGA系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成,实时分析windows软件包可以更方便用于数据采集和分析,并可进行远程控制。

探测器类型                   标准法拉第杯(FC), 可选电子倍增 (EM)
分辨率                          优于0.5amu
灵敏度(A/Torr)              2 × 10−4 (FC), <200 (EM).
探测限                       5 × 1011 Torr (FC),
                                       5 × 1014 Torr (EM)
测试范围                       104 Torr to UHV (FC)
                                      106 Torr to UHV (EM)
操作温度                       70 °C (max.)
工作温度                      300 °C (without ECU)


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