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更新时间:2026-08-06
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飞秒微加工系统选型指南|从激光器到整机,Sabray如何满足工业化超精细加工需求
在半导体先进封装、光学元件制造、3C 精密电子、生物医疗器件等领域,硬脆材料、超薄薄膜、三维微结构加工长期存在崩边、热变形、孔壁粗糙等工艺难题。传统机械切削、纳秒激光加工会产生明显热影响区,难以满足亚微米级精细制造需求。美国 Uptek Solutions 推出的 Sabray 飞秒微加工系统依托超快冷加工技术,适配多品类材料超精细微纳制造,该设备由北京先锋泰坦科技有限公司(TEO先锋泰坦)*作为授权代理商面向国内市场供应。
一、一体化整机架构,兼顾科研与工业稳定运行
TEO先锋泰坦推出的Sabray飞秒微加工系统,正是为解决上述问题而设计的一体化超精细加工设备。Sabray系统的核心由三大部分构成:Phidia系列飞秒激光系统、Spearay系列激光加工模块,以及德国Scoroff机柜。三者的有机结合,让Sabray成为一套“即装即用"的工业化飞秒微加工解决方案。
1.花岗石龙门基座:整机采用花岗石龙门支架,降低环境振动干扰,长时间连续加工工况下保持光路与运动平台稳定性,减少尺寸漂移带来的加工偏差;
2.模块化可拓展设计:加工单元支持自由选配扫描振镜、螺旋光束扫描头、高数值孔径显微物镜、真空样品仓等配件,可根据打孔、切割、3D 直写等不同工艺灵活调整;
3.高精密多轴运动平台:覆盖 Spearay-S/H/U/ 四轴多款平台型号,行程区间适配小幅面样品打样与中等尺寸工件批量加工,重复定位精度可达微米级区间,满足微结构阵列一致性加工;
4.光源兼容性充足:原生适配品牌自有钛宝石、光纤飞秒放大器,同时可对接市面主流超快激光器,方便客户基于现有光路设备升级改造加工产线。
加工系统参数
二、飞秒冷加工核心优势,适配各类难加工材料
依托窄脉宽飞秒脉冲实现非线性多光子吸收加工,加工过程热影响区域微弱,无需担心材料熔融、裂纹、氧化问题,适配覆盖多类基材:
- 硬脆透明材料:蓝宝石、光学玻璃、碳化硅、陶瓷、石英,可完成无崩边切割、高深径比微孔制作,微孔深径比最高可达 10:1;
- 电子薄膜与基板:ITO 导电膜、PI/PET 柔性膜、半导体硅晶圆、封装陶瓷基板,用于薄膜选择性刻蚀、盲孔开槽;
- 金属与特种合金:钛合金、镍钛医用合金、高温合金,加工微孔、微流道、功能性表面织构;
- 光学基材:光纤内部光波导直写、微透镜阵列。
系统激光输出脉宽区间覆盖 40fs 至 120fs,能量稳定性 RMS 低于 0.75%,光束漂移控制在较低区间,保障批量加工下形貌、尺寸稳定统一,可加工百纳米级微细特征结构。
三、多场景落地应用,覆盖科研与工业两大方向
1.高校与科研实验室:超快激光材料机理研究、光子晶体三维直写、光纤光栅无损刻写、微流控芯片研发,适配新材料工艺探索与学术课题实验;
2.半导体与光通信行业:硅晶圆隐形划切、CPO 光模块微槽加工、碳化硅器件沟槽制备、光学玻璃精密开孔,降低芯片、光器件良品损耗;
3.3C 消费电子制造:手机盖板玻璃、超薄 ITO 触控层无损伤切割,表面纳米纹理制备实现结构色外观处理;
4.医疗器械加工:镍钛合金血管支架、微创穿刺针精细裁切,加工边缘光滑,维持材料原生生物相容性能;
5.航空精密零部件:高温合金叶片冷却微孔、微型流体通道批量制备,优化换热与流体性能。
超快激光刻蚀
二维和三维表面微结构制作
北京先锋泰坦科技有限公司作为 Uptek Solutions 国内正规授权合作代理商,深耕超快光电仪器领域多年,可为客户提供全流程一站式配套支持,所有设备货源均原厂直供,性能参数与海外出厂标准保持一致。
1.前期选型工艺评估:光学与微加工工程师户加工需求,结合工件材质、精度、产能给出 Sabray 适配机型、配套加工头选型方案,支持样品打样测试;
2.本地化交付与集成调试:设备到货后提供上门装机、光路校准、运动平台调试服务,配套完整操作培训,帮助技术人员快速掌握设备操作、工艺参数调试;
3.规范原厂维保体系:同步执行 Uptek 全球统一质保标准,国内设立技术服务团队,缩短故障响应周期,减少实验室与产线停机等待时间;
4.全链条配套耗材与配件供应:除 Sabray 整机外,先锋泰坦同步上架配套飞秒激光器、光学镜片、运动平台备件、光束检测设备,可搭建一体化超快微加工实验室方案;
5.持续技术更新支持:同步同步原厂最新加工工艺资料、软件升级包,定期分享飞秒微加工行业新工艺案例,助力客户优化加工效率。
当下微纳制造行业对加工精度、材料适配性要求持续提升,Sabray 飞秒微加工系统凭借稳定一体化整机、冷加工无损伤、高拓展模块化配置,成为科研机构与精密制造企业优选超快加工设备。