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单频紫外激光器 IXION-193 SLM

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单频紫外激光器 IXION-193 SLM是单频二管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换限。中心波长以0.01nm的度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪,度可达1pm以保证对激光器调谐的Z大控制。

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单频紫外激光器 IXION-193 SLM是单频二管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF准分子激光器的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换限。中心波长以0.01nm的度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪,度可达1pm以保证对激光器调谐的zui大控制。
 

单频紫外激光器 IXION-193 SLM典型参数

型    号

IXION-193 SLM

波    长

193.368 nm

平均功率

>10 mW

脉    宽

< 10 ns

脉冲能量

>1.6 µJ

重复频率

6 kHz

M2  因子

< 1.6

线    宽

<120MHz;0.015pm; 0.004cm-1

调谐范围

>80GHz; 10pm;2.6cm-1

相干长度

>1 m

单频紫外激光器 IXION-193 SLM特点
· 工业级的频率转换,密封封装 
· 插槽安装激光二管泵浦
· 优异的TEM00光束形貌
· 脉冲到脉冲之间波动小
· 免维护与热电温控管理
· LabVIEW驱动
· 内置光谱仪用于波长实时控制

单频紫外激光器 IXION-193 SLM应用    
· 193 nm波长计量                                              
· 光谱仪校准                                                     
· 干涉测量
· 准分子激光器的种子注入
单频紫外激光器 IXION-193 SLM
光谱带宽


脉冲宽度


长时间功率稳定性

光束质量



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