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193nm激光器 准分子加工系统

  • 型   号:
  • 价   格:400000

193nm激光器 准分子加工系统产品特点:
全部实现风冷,无需水冷;
结构紧凑,脉冲频率高,Z高重复频率到1kHz;
全新技术金属-陶瓷腔体;
光束均匀性好
集成的真空泵和卤素滤光片
激光头体积<3L
提供能量稳定模式,保证能量稳定输出;

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193nm激光器 准分子加工系统

 

 

193nm激光器 准分子加工系统产品外观图

 

典型的均匀光斑形貌

 

微加工系统

产品特点

全部实现风冷,无需水冷;

结构紧凑,脉冲频率高,zui高重复频率到1kHz;

全新技术金属-陶瓷腔体;

光束均匀性好

集成的真空泵和卤素滤光片

激光头体积<3L

提供能量稳定模式,保证能量稳定输出;

应用:

微加工

激光融蚀

医学(眼睛手术)

光谱

计量

光纤布拉格光栅刻写

参数

ATLEX-300-I 参数

ATLEX-300-I 参数

气体介质

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

单位

波长

157

193

248

308

351

nm

高压开关技术

固态开关

 

zui大脉冲能量1

1

10

15

8

7

mJ

zui大平均功率

0.2

2.4

4.0

2.0

1.7

W

zui大重复频率

300

Hz

脉宽2

5-8

ns

光斑尺寸(V*H)

4*6

mm

光束发散角(V*H)

1*2

mrad

能量稳定性

<3

%

尺寸(L*W*H)

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

风冷

 

供电要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

 

  • 在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
  • 典型值,半高全宽(FWHM)

ATLEX-500-I 参数

ATLEX-500-I 参数

气体介质

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

单位

波长

157

193

248

308

351

nm

高压开关技术

固态开关

 

zui大脉冲能量1

1

10

15

8

7

mJ

zui大平均功率

0.5

4.0

6.5

3.0

2.5

W

zui大重复频率

500

Hz

脉宽2

5-8

ns

光斑尺寸(V*H)

4*6

mm

光束发散角(V*H)

1*2

mrad

能量稳定性

<3

%

尺寸(L*W*H)

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

风冷

 

供电要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

 

  • 在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
  • 典型值,半高全宽(FWHM)

 

ATLEX-1000-I 参数

ATLEX-1000-I 参数

气体介质

ArF

KrF

单位

波长

193

248

nm

高压开关技术

固态开关

zui大脉冲能量1

10

15

mJ

zui大平均功率

4.0

6.5

W

zui大重复频率

1000

Hz

脉宽2

5-8

ns

光斑尺寸(V*H)

4*6

mm

光束发散角(V*H)

1*2

mrad

能量稳定性

<3

%

尺寸(L*W*H)

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

风冷

 

供电要求

230 VAC/10A/1 phase/50-60Hz

 

  • 在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
  • 典型值,半高全宽(FWHM)

 

ATLEX-300-FBG 参数

ATLEX-300-FBG 参数

气体介质

ArF

KrF

单位

波长

193

248

nm

高压开关技术

固态开关

zui大脉冲能量1

10

15

mJ

zui大平均功率

2.4

4.0

W

空间相关性(垂直方向)

>300

>300

um

zui大重复频率

300

Hz

脉宽2

5-8

ns

光斑尺寸(V*H)

4*6

mm

光束发散角(V*H)

1*2

mrad

能量稳定性

<3

%

尺寸(L*W*H)

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

风冷

 

供电要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

 

  • 在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
  • 典型值,半高全宽(FWHM)

 

ATLEX-500-FBG 参数

ATLEX-500-FBG 参数

气体介质

ArF

KrF

单位

波长

193

248

nm

高压开关技术

固态开关

zui大脉冲能量1

10

15

mJ

zui大平均功率

4.0

6.5

W

空间相关性(垂直方向)

>300

>300

um

zui大重复频率

500

Hz

脉宽2

5-8

ns

光斑尺寸(V*H)

4*6

mm

光束发散角(V*H)

1*2

mrad

能量稳定性

<3

%

尺寸(L*W*H)

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

风冷

 

供电要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

 

  • 在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
  • 典型值,半高全宽(FWHM)

 

ATLEX-LR 参数

ATLEX-LR 参数

气体介质

ArF

单位

波长

193

nm

zui大脉冲能量1

12

mJ

zui大稳定输出能量

10

mJ

脉宽2

5

Ns

光斑尺寸(V*H)

4*6

mm

光束发散角(V*H)

1*2

mrad

能量稳定性

<2

%

尺寸(L*W*H)

540*470*370

mm

重量

60

kg

制冷

风冷

 

供电要求

230 VAC/6.3A/1 phase/50-60Hz

 

  • 在低重复频率下测量,应用能量稳定模式降会有10%的输出能量损失
  • 典型值,半高全宽(FWHM)

 


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