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棱镜耦合测试仪的主要测试功能

更新时间:2022-12-14 点击次数:92
   棱镜耦合测试仪采用棱镜耦合方法测试样品折射率,可测试波长633nm、935nm、1549nm处的折射率值,通过软件做曲线耦合科求出任何波段的模拟值。可以提供精确的、非接触、无损膜厚度测量,适用于薄膜厚度在2-100µm的聚合物材料、硅基氧化膜、硅基玻璃膜,在干涉条纹产生的基础上通过改变角度产生干涉条纹(VAMFO-变角度单色条纹观测)的方法。
  
  对于厚膜折射率的测量,单色光被直接照射到被测样品上,这样,从薄膜表面反射回来的光的干涉小值就会发生变化,光的入射角也会发生变化。在这种技术中,薄膜厚度是由两个干涉小值的角的位置计算出来的。对于这种测量条件——薄膜具有两个或两个以上的干扰小值——薄膜厚度必须大于低脱粒率,通常为2微米。样品夹持机采用真空从背面支撑样品,安装方便简单。可测量薄膜/基底的类型,硅衬底上几乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介质、聚合物或薄膜。可测量的薄膜/衬底类型:氧化物、氮化物、介电材料、聚合物、或硅衬底上几乎任何透明或半透明材料的薄膜。
  
  主要测试功能:
  1、薄膜及波导折射率/厚度/光损测量;
  2、体材料折射率的测量;
  3、薄膜及体材料的双折射测量;
  4、液体折射率的测量;
  5、折射率随温度变化的测量分析;
  6、折射率随深度变化的测量分析;
  
  主要应用领域:
  1、光波导器件芯片的制备;
  2、激光晶体的制备;
  3、聚合物材料的属性研究;
  4、显示技术材料的测量;
  5、光/磁存储材料的测量;
  6、光学薄膜的制备。

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