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棱镜耦合测试仪测量原理及应用领域

更新更新时间:2022-06-13 点击次数:797
   棱镜耦合测试仪主要用于电解质和聚合物膜的厚度、折射率和波导参数的快速测量,适用于薄膜厚度在2-100µm的聚合物材料、硅基氧化膜、硅基玻璃膜,在干涉条纹产生的基础上通过改变角度产生干涉条纹的方法。对于厚膜折射率的测量,单色光被直接照射到被测样品上,这样,从薄膜表面反射回来的光的干涉小值就会发生变化,光的入射角也会发生变化。
  
  测量原理:
  待测样品通过一个空气作用的耦合探头与棱镜基座接触,在薄膜与棱镜之间产生一个空气狭缝。一束激光光束照射到棱镜基座上,通常会在基座上全反射进入光电探测器。在某一些入射角,称为模式角,光子向下穿过空气狭缝进入薄膜,进入一种被引导的光传播模式,使到达探测器的光强度大幅降低。
  棱镜镜片的厚薄差较大,在焦度计上打点和检测时需将棱镜jian端稍抬起,使镜片的前表面处于水平位置,因为棱镜镜片在磨边装配过程中。考虑到美观等因素,尖边位置往往在厚端的靠外处,也就是说镜片的外表面比里面更接近于水平线,因而在镜片的视轴也更接近于外表面的光轴,而不是里表面的光轴,所以这个方向的度数应是实际有效距离,也就是说,焦距在这个方向的测量值为实际有效距离。
  
  该仪器可测量薄膜/基底的类型,硅衬底上几乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介质、聚合物或薄膜。可测量的薄膜/衬底类型:氧化物、氮化物、介电材料、聚合物、或硅衬底上几乎任何透明或半透明材料的薄膜。
  
  棱镜耦合测试仪主要应用领域:
  1、光波导器件;
  2、激光晶体材料;
  3、聚合物材料;
  4、显示技术材料;
  5、光/磁存储材料;
  6、光学薄膜。

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