膜厚测量仪的系统包括以下的几部分

　　随着微型计算机多媒体技术的发展和普及，光学薄膜在液晶显示屏，CRT显示器等方面广泛应用。为了提高光学薄膜的生产效率和改善产品质量有必要逐步导入人工智能镀膜新技术。膜厚测量仪适用于nm及um级薄膜厚度测量，测量的空间分辨率(测量点的大小)可达10um，厚度测量准确度为nm级。
 

　　工作原理：
 

　　物质在被一定波长的X射线照射时，元素将处于激发状态而发射出光子，形成一种特征X 荧光射线。每一种元素的能量都是一一对应的，探测 器在接收到元素的特征X荧光射线之后，可以通过其中的光子能量进行定性分析，还可通过其中的光子量值进行定量分析。
 

　　膜厚测量仪对样品进行非接触式、无损、高精度测量，可测量反射率、颜色、膜厚等参数。可应用于光伏、半导体材料、高分子材料等薄膜层的厚度测量，在半导体、太阳能、液晶面板和光学行业以及科研所和高校都得到广泛的应用。
 

　　这里所指的人工智能镀膜的含意，就是指在没有镀膜专家的情况下，也能按照zhi定的光学特性，实现自动镀膜。一般来说，这样的系统包括以下的几部分。
 

　　(1)针对镀膜机系统，建立镀膜条件及薄膜的光学常数的数据库；
 

　　(2)薄膜的设计及合成；
 

　　(3)镀膜的仿真，考虑薄膜的折射率及膜厚的影响；
 

　　(4)求出镀膜条及膜厚控制的数据；(5)实际镀膜，测出各层的膜厚及折射，再做设计；
 

　　(6)产品的性能测试。